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半導体装置用真空計市場の主要企業を、製品タイプ別に整理しました。同じ市場でも、セグメントによって強い企業は異なります。
製品タイプ
- キャパシタンスダイアフラムゲージ
- 電離真空計
- ピラニ真空計
- その他
半導体装置用真空計市場の主要企業
- MKS (Granville-Phillips)
- Inficon
- Canon ANELVA
- Atlas Copco (Leybold，and Edwards)
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Agilent
- ULVAC
- SATO VAC INC
- Azbil Corporation
- Arun Microelectronics
- Teledyne Hastings Instruments
- Kurt J. Lesker
- Setra Systems
- EBARA
- ATOVAC
- Reborns
セグメント別の主要プレイヤー
半導体製造装置向け真空計の主要サプライヤーは、製品タイプ別にいくつかのセグメントに分けられる。静電容量式ダイヤフラムゲージのセグメントではMKS（Granville-Phillips）、Inficon、Pfeiffer Vacuum GmbH、Agilent、Setra Systems、EBARA、Azbil Corporationが中核を担い、高精度な圧力制御が要求されるプロセスチャンバー向けに強みを持つ。電離真空計のセグメントではMKS（Granville-Phillips）、Inficon、Canon ANELVA、ULVAC、Pfeiffer Vacuum GmbH、Agilent、Teledyne Hastings Instruments、Arun Microelectronicsが主要な存在であり、高真空から超高真空領域の測定技術と残留ガス分析への応用能力を示す。ピラニ真空計のセグメントではInficon、MKS（Granville-Phillips）、Atlas Copco（LeyboldおよびEdwards）、Pfeiffer Vacuum GmbH、ULVAC、EBARA、SATO VAC INC、ATOVAC、Rebornsが広く対応し、粗引きから中真空までの幅広い圧力帯をカバーする汎用性を反映している。その他のセグメントではKurt J. Lesker、Setra Systems、Azbil Corporation、Arun Microelectronics、Teledyne Hastings Instruments、SATO VAC INCが複合的なソリューションや特殊用途向け製品を提供し、装置メーカーの多様な要求に応える総合的な技術力を示している。
用途から見た使い分け
半導体製造装置向け真空計の購買担当者は、成膜、エッチング・クリーニング、イオン注入、その他という用途ごとに求められる性能と供給体制を比較して選定します。成膜ではプロセス中の圧力安定性と汚染耐性が重視され、幅広い圧力域を連続測定できることや薄膜付着への耐久性が求められます。エッチング・クリーニングでは腐食性ガスやプラズマ環境への耐性、迅速な応答性、クリーニング後の校正再現性が重要です。イオン注入では高真空から極高真空までの精度と放射線環境での長期安定性、低リークや低アウトガス性能が欠かせません。その他ではコスト、短納期、互換性、保守性が優先されるため、供給元には用途別の技術対応力と安定供給、校正・保守サービスの総合力が問われます。
半導体装置用真空計市場レポート
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